インクジェット活用ナノインプリント技術
本書では、インクジェット方式とナノインプリント技術を組合わせた微細パターンの形成技術に関する特許情報を取り上げます。パターン形状に応じてインクジェットの吐出液滴を制御し、モールド(金型)による微細パターンの押圧と離型に最適的なレジスト形成を行います。「インクジェットや液滴を用いるナノインプリント技術」の2010年6月以降、2013年10月までに公開されたインクジェットに関する特許情報67件を俯瞰するガイドです。

インクジェット活用ナノインプリント技術

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