ディスプレイをねらう酸化物半導体TFTの最前線Part2
酸化物半導体を用いる薄膜トランジスタTFTに関する特許情報を取り上げます。主に2011年~2012年に公開された特許情報の特徴はIGZO一色と言っても過言ではないようです。 本書では、酸化物半導体TFTの特許情報に実際にあらわれる技術的共通要素を整理し、材料から品質保証までの大きな観点に分けて最新特許情報を掲載しています。掲載された特許情報は、IGZOを含む酸化物の材料から薄膜製造プロセス、電極構造、ポストアニールなど、広範囲に及びます。 ※本書は2010年7月発刊『ディスプレイをねらう酸化物半導体TFTの最前線 編』のアップデート版です。

ディスプレイをねらう酸化物半導体TFTの最前線Part2

¥55,000価格