微細ナノのアクチュエータ技術
本書は微細ナノ技術を用いたアクチュエータに関する特許情報を取り上げています。アクチュエータの材料、構成、製造方法にも着目しています。またアクチュエータの駆動方法に特徴を有する特許情報を取り上げています。さらに用途としては、位置決めの性能向上と高精度化に注目しました。また被駆動対象が液体、液滴、微小粒子における用途に特徴を有する特許情報などを取り上げています。

微細ナノのアクチュエータ技術

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